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微电容式MEMS振动传感器

  • 主要特点
  • 技术指标

概述

微电容式MEMS振动传感器VSC系列)采用MEMS技术的微电容式加速度敏感芯体,将感受的加速度信号转换成电压信号输出。传感器结构简单,机壳采用钛合金材料。传感器设计为浮地形式,安装面与信号地绝缘


产品特点

u 动态测量范围宽

u 体积小、重量轻

u 机械、电气接口,输出形式可按客户要求定制


应用领域

u 低频动态和稳定线性加速度案例飞行测试

u 运输环境仿

u 道路负载

u 模态和结构分析

u 风电整机监测

u 倾斜和倾角的测量


性能参数


VSC-X1-1

VSC-X2-2/3

VSC-2-2/3






微电容式MEMS振动传感器

型号

VSC-X1-1

VSC-X2-2/3

VSC-2-2/3

测量方向

单向

两向、三向

两向、三向

测量范围

0~200g内选用

0~400g内选用

0~400g内选用

频率范围

5Hz~5KHz内选用

2Hz~2KHz内选用

2Hz~2KHz内选用

电源电压

±15V·DC

±15V·DC

±15V·DC

输出直流电压

2.5±0.1V

2.5±0.1V

2.5±0.1V

满量程输出电压

4.9±0.1V

4.9±0.1V

4.9±0.1V

最大横向灵敏度

<3%

<3%

<3%

精度

1.50%

1.50%

1.50%

接插件

Y4-4TK

J30J-9ZKP

Y86-7ZKD


Y8B-7ZJLM

Y100A-7ZJL

材料

安装方式(mm)

M5螺纹

36.2×M3螺钉

M5螺纹

外形尺寸(mm)

Φ26×40

30×30×25

20×202×M3螺钉